EVSXS系列
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EVSXS6-30G1/50G1/75G1
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- 移动方向:
- X轴
- 材质:
- 不锈钢
- 台面尺寸(mm):
- 60mm*60mm
- 行程(mm):
- 30mm,50mm,75mm
- 精度(μm):
- ±0.5μm,±1μm
- 速度(mm/s):
- 20mm/s
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EVSXS6-100G1/100G2/150G1/150G2
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- 移动方向:
- X轴
- 材质:
- 不锈钢
- 台面尺寸(mm):
- 60mm*60mm
- 行程(mm):
- 100mm,150mm
- 精度(μm):
- ±0.5μm,±1μm
- 速度(mm/s):
- 20mm/s,40mm/s
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EVSXS6-200G2/300G2
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- 移动方向:
- X轴
- 材质:
- 不锈钢
- 台面尺寸(mm):
- 60mm*60mm
- 行程(mm):
- 200mm,300mm
- 精度(μm):
- ±0.5μm,±1μm
- 速度(mm/s):
- 40mm/s
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EVSYS6-__G
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- 移动方向:
- XY轴
- 材质:
- 不锈钢
- 台面尺寸(mm):
- 60mm*60mm
- 行程(mm):
- 30mm,50mm,75mm,100mm,150mm,200mm,300mm
- 精度(μm):
- ±0.5μm,±1μm
- 速度(mm/s):
- 20mm/s,40mm/s
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EVSZLS6-30G1/50G1/75G1
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- 移动方向:
- Z轴
- 材质:
- 不锈钢
- 台面尺寸(mm):
- 60mm*60mm
- 行程(mm):
- 30mm,50mm,75mm
- 精度(μm):
- ±0.5μm,±1μm
- 速度(mm/s):
- 20mm/s
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